МЕНЮ


Фестивали и конкурсы
Семинары
Издания
О МОДНТ
Приглашения
Поздравляем

НАУЧНЫЕ РАБОТЫ


  • Инновационный менеджмент
  • Инвестиции
  • ИГП
  • Земельное право
  • Журналистика
  • Жилищное право
  • Радиоэлектроника
  • Психология
  • Программирование и комп-ры
  • Предпринимательство
  • Право
  • Политология
  • Полиграфия
  • Педагогика
  • Оккультизм и уфология
  • Начертательная геометрия
  • Бухучет управленчучет
  • Биология
  • Бизнес-план
  • Безопасность жизнедеятельности
  • Банковское дело
  • АХД экпред финансы предприятий
  • Аудит
  • Ветеринария
  • Валютные отношения
  • Бухгалтерский учет и аудит
  • Ботаника и сельское хозяйство
  • Биржевое дело
  • Банковское дело
  • Астрономия
  • Архитектура
  • Арбитражный процесс
  • Безопасность жизнедеятельности
  • Административное право
  • Авиация и космонавтика
  • Кулинария
  • Наука и техника
  • Криминология
  • Криминалистика
  • Косметология
  • Коммуникации и связь
  • Кибернетика
  • Исторические личности
  • Информатика
  • Инвестиции
  • по Зоология
  • Журналистика
  • Карта сайта
  • Тонкопленочные элементы интегральных схем

    верхнего слоя металлизации с кремнием. Так, например, в тройной

    системе Тt-Рl-Аu, которая применяется при изготовлении балочных

    выводов, слой

    Рис. 1. Схема процесса изготовления двухуровневой металлизации в

    системе А1-А1гОз-А1.

    а-- нанесение толстого и тонкого слоев окисла кремния перед

    металлизацией (показана область омического контакта); б—нанесение

    алюминия, образующего первый уровень; в — фотогравировка первого

    уровня металла; г — анодирование первого уровня металлизации с

    фоторезистивной маской; д — нанесение алюминия, образующего второй

    уровень; е — фотогравировка второго уровня металлизации.

    Рt толщиной около 5Х10-2 мкм служит барьером против диффузии А1 в S1.

    Помимо этого для балочных выводов в МДП ИС применяются системы Сг-Аg-

    Аu, Сг-Аg-Рt, Рd-Аg-Аu, в которых роль барьера выполняет пленка

    серебра. Для гибридных ИС и полосковмх линий ИС СВЧ диапазона

    применяются системы Сг-Сu и Сг-Сu-Сг.

    Увеличение плотности размещения элементов на кристалле

    потребовало применения многоуровневой металлизации. На рис. 1 показана

    последовательность изготовления двухуровневой металлизации в системе

    А1-А120з-А1, которая применяется в приборах с зарядовой связью.

    Сравнительно новым изолирующим материалом для многоуровневой

    металлизации является полиимид, с помощью которого получают

    пятиуровневую металлизацию БИС на МДП транзисторах.

    Факторы, влияющие на свойства тонких пленок

    Рост одного вещества на подложке из другого вещества — очень

    сложный процесс, зависящий от большого числа трудно контролируемых

    параметров: структуры подложки, состояния ее поверхности, температуры,

    свойств испаряемого вещества и скорости его осаждения, материала и

    .конструкции испарителя, степени разрежения, состава остаточной среды

    и ряда других. В табл. 1 показана связь между свойствами пленок и

    условиями их осаждения.

    |Свойст| | |фактор| | | | | |

    |ва | | |ы, | | | | | |

    |пленки| | |влияющ| | | | | |

    | | | |ие на | | | | | |

    | | | |указан| | | | | |

    | | | |ные | | | | | |

    | | | |свойст| | | | | |

    | | | |ва | | | | | |

    | | | | | | | | | |

    |Размер| | |Матери| | | | | |

    |зерен | | |ал | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки и | | | | | |

    | | | |пленки| | | | | |

    | | | |. | | | | | |

    | | | |Загряз| | | | | |

    | | | |нения | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки. | | | | | |

    | | | |Подвиж| | | | | |

    | | | |ность | | | | | |

    | | | |атомов| | | | | |

    | | | |осажда| | | | | |

    | | | |емого | | | | | |

    | | | |матери| | | | | |

    | | | |ала на| | | | | |

    | | | |поверх| | | | | |

    | | | |ности | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки | | | | | |

    | | | |(темпе| | | | | |

    | | | |ратура| | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки, | | | | | |

    | | | |скорос| | | | | |

    | | | |ть | | | | | |

    | | | |осажде| | | | | |

    | | | |ния). | | | | | |

    | | | |Структ| | | | | |

    | | | |ура | | | | | |

    | | | |поверх| | | | | |

    | | | |ности | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки | | | | | |

    | | | |(степе| | | | | |

    | | | |нь | | | | | |

    | | | |шерохо| | | | | |

    | | | |ватост| | | | | |

    | | | |и, | | | | | |

    | | | |наличи| | | | | |

    | | | |е | | | | | |

    | | | |криста| | | | | |

    | | | |ллов) | | | | | |

    |Распол| | |Структ| | | | | |

    |ожение| | |ура | | | | | |

    |криста| | |подлож| | | | | |

    |ллов | | |ки | | | | | |

    | | | |''(мон| | | | | |

    | | | |окрист| | | | | |

    | | | |алличе| | | | | |

    | | | |ская, | | | | | |

    | | | |поликр| | | | | |

    | | | |исталл| | | | | |

    | | | |ическа| | | | | |

    | | | |я или | | | | | |

    | | | |аморфн| | | | | |

    | | | |ая). | | | | | |

    | | | |Загряз| | | | | |

    | | | |нения | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки | | | | | |

    | | | | | | | | | |

    | | | |(наруш| | | | | |

    | | | |ение | | | | | |

    | | | |структ| | | | | |

    | | | |уры | | | | | |

    | | | |пленки| | | | | |

    | | | |). | | | | | |

    | | | |Темпер| | | | | |

    | | | |атура | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки | | | | | |

    | | | |(обесп| | | | | |

    | | | |ечение| | | | | |

    | | | |необхо| | | | | |

    | | | |димой | | | | | |

    | | | |подвиж| | | | | |

    | | | |ности | | | | | |

    | | | |атомов| | | | | |

    | | | |осажда| | | | | |

    | | | |емого | | | | | |

    | | | |матери| | | | | |

    | | | |ала) | | | | | |

    |Адгези| | |Матери| | | | | |

    |я | | |ал | | | | | |

    |между | | |подлож| | | | | |

    |пленко| | |ки и | | | | | |

    |й | | |пленки| | | | | |

    | | | |. | | | | | |

    | | | |Дополн| | | | | |

    | | | |ительн| | | | | |

    | | | |ые | | | | | |

    | | | |процес| | | | | |

    | | | |сы | | | | | |

    | | | |(напри| | | | | |

    | | | |мер, | | | | | |

    | | | |образо| | | | | |

    | | | |вание | | | | | |

    | | | |промеж| | | | | |

    | | | |уточно| | | | | |

    | | | |го | | | | | |

    | | | |слоя | | | | | |

    | | | |окисла| | | | | |

    | | | |между | | | | | |

    | | | |пленко| | | | | |

    | | | |й и | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |кой). | | | | | |

    | | | |Загряз| | | | | |

    | | | |нение | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки. | | | | | |

    | | | | | | | | | |

    | | | |Подвиж| | | | | |

    | | | |ность | | | | | |

    | | | |атомов| | | | | |

    | | | |осажда| | | | | |

    | | | |емого | | | | | |

    | | | |матери| | | | | |

    | | | |ала | | | | | |

    |Загряз| | |Чистот| | | | | |

    |нение | | |а | | | | | |

    | | | |испаря| | | | | |

    | | | |емого | | | | | |

    | | | |матери| | | | | |

    | | | |ала. | | | | | |

    | | | |Матери| | | | | |

    | | | |ал | | | | | |

    | | | |испари| | | | | |

    | | | |теля. | | | | | |

    | | | |Загряз| | | | | |

    | | | |нение | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки. | | | | | |

    | | | |Степен| | | | | |

    | | | |ь | | | | | |

    | | | |разреж| | | | | |

    | | | |ения и| | | | | |

    | | | |состав| | | | | |

    | | | |остато| | | | | |

    | | | |чной | | | | | |

    | | | |среды.| | | | | |

    | | | |Соотно| | | | | |

    | | | |шение | | | | | |

    | | | |между | | | | | |

    | | | |давлен| | | | | |

    | | | |ием | | | | | |

    | | | |остато| | | | | |

    | | | |чных | | | | | |

    | | | |газов | | | | | |

    | | | |и | | | | | |

    | | | |скорос| | | | | |

    | | | |тью | | | | | |

    | | | |осажде| | | | | |

    | | | |ния | | | | | |

    |Окисле| | |Степен| | | | | |

    |ние | | |ь | | | | | |

    | | | |химиче| | | | | |

    | | | |ского | | | | | |

    | | | |сродст| | | | | |

    | | | |ва | | | | | |

    | | | |осажда| | | | | |

    | | | |емого | | | | | |

    | | | |матери| | | | | |

    | | | |ала к | | | | | |

    | | | |кислор| | | | | |

    | | | |оду. | | | | | |

    | | | |Поглощ| | | | | |

    | | | |ение | | | | | |

    | | | |водяны| | | | | |

    | | | |х | | | | | |

    | | | |паров | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |кой. | | | | | |

    | | | |Темпер| | | | | |

    | | | |атура | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки. | | | | | |

    | | | |Степен| | | | | |

    | | | |ь | | | | | |

    | | | |разреж| | | | | |

    | | | |ения и| | | | | |

    | | | |состав| | | | | |

    | | | |остато| | | | | |

    | | | |чной | | | | | |

    | | | |среды.| | | | | |

    | | | |Соотно| | | | | |

    | | | |шение | | | | | |

    | | | |между | | | | | |

    | | | |давлен| | | | | |

    | | | |ием | | | | | |

    | | | |остато| | | | | |

    | | | |чных | | | | | |

    | | | |газов | | | | | |

    | | | |и | | | | | |

    | | | |скорос| | | | | |

    | | | |тью | | | | | |

    | | | |осажде| | | | | |

    | | | |ния | | | | | |

    |Напряж| | |Матери| | | | | |

    |ение | | |ал | | | | | |

    | | | |пленки| | | | | |

    | | | |и | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки. | | | | | |

    | | | |Темпер| | | | | |

    | | | |атура | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |ки. | | | | | |

    | | | |Размер| | | | | |

    | | | |зерен,| | | | | |

    | | | |включе| | | | | |

    | | | |ния, | | | | | |

    | | | |криста| | | | | |

    | | | |ллогра| | | | | |

    | | | |фическ| | | | | |

    | | | |ие | | | | | |

    | | | |дефект| | | | | |

    | | | |ы в | | | | | |

    | | | |пленке| | | | | |

    | | | |. | | | | | |

    | | | |Отжиг.| | | | | |

    | | | |Угол | | | | | |

    | | | |между | | | | | |

    | | | |молеку| | | | | |

    | | | |лярным| | | | | |

    | | | |пучком| | | | | |

    | | | |и | | | | | |

    | | | |подлож| | | | | |

    | | | |кой | | | | | |

    В зависимости от конкретных условий осаждения пленки одного и

    того же вещества могут иметь следующие основные структурные

    особенности: аморфную структуру, характеризующуюся отсутствием

    кристаллической решетки; коллоидную (мелкозернистую) структуру,

    Страницы: 1, 2, 3


    Приглашения

    09.12.2013 - 16.12.2013

    Международный конкурс хореографического искусства в рамках Международного фестиваля искусств «РОЖДЕСТВЕНСКАЯ АНДОРРА»

    09.12.2013 - 16.12.2013

    Международный конкурс хорового искусства в АНДОРРЕ «РОЖДЕСТВЕНСКАЯ АНДОРРА»




    Copyright © 2012 г.
    При использовании материалов - ссылка на сайт обязательна.