История развития криоэлектроники

— интегральная СВЧ криоэлектроника (интегральные схемы СВЧ усилителей,

циркуляторов, фильтров, смесителей и др.);

. интегральная криоэлектроника на основе слабосвязанных сверхпроводников

для вычислительной техники (интегральные схемы логики и памяти) .

Значительное увеличение удельного веса работ по интегральной

криоэлектронике отражает суть нового этапа в развитии криоэлектроники,

обусловленного успехами технологии пленочных и полупроводниковых схем

микроэлектроники. Использование достижений технологии изготовления

интегральных схем в криоэлектронике открыло пути комплексной

микроминиатюризации ряда электронной приемной аппаратуры при

одновременном качественном улучшении ее основных параметров. Такому

положению способствуют глубинные процессы, происходящие в электронике.

— интеграция большого числа элементов в одном криостатируемом корпусе;

. создание многокомпонентных гетероструктур, в том числе на основе

узкозонных материалов;

— интеграция явлений, функций и разнородных материалов в одной

структуре на основе контактов сверхпроводник - полупроводник,

параэлектрик - сверхпроводник;

. применение криогенной технологии (крионасосов, криогенного охлаждения

подложек, охлаждения химических веществ для проведения уникальных реакций

методом туннелирования при низких температурах) для создания

криоэлектронных элементов. Исчезновение активного сопротивления в

сверхпроводниках при криогенных температурах в широком спектре частот

позволяет практически полностью устранить тепловые потери, повысить к. п.

д. элементов и создать резонаторы с добротностью до 108—1012 вместо

103—104 на частотах вплоть до 10—30 ГГц. На основе эффекта Джозефсона и

явлений в контактах сверхпроводник— полупроводник могут быть разработаны

высокочувствительные датчики, измеряющие напряжения 10-16 В,

видеодетекторы миллиметрового и субмиллиметрового диапазонов волн с

чувствительностью 10-15 Вт/Гц1/2, тонко-пленочные интегральные схемы

памяти и логики с быстродействием 10-11 с, работающие почти без выделения

тепла, магнитометры с чувствительностью на 5 порядков выше, чем у

наилучших известных приборов.

Вымораживание примеси в полупроводнике при уменьшении тепловой энергии

решетки ниже энергии ионизации примеси, устранение собственной

проводимости в узкозонных полупроводниках, токов термоэлектронной эмиссии

в барьерах Шоттки за счет охлаждения открывают пути для приема излучений

в недоступных кремниевым фотодиодам и ПЗС участках спектра, вплоть до

дальнего ИК диапазона. Кремниевые ПЗС с барьерами Шоттки при азотных

температурах охватывают диапазон до 3,5 мкм, ПЗС на основе InSb и

кремниевые ПЗС, легированные In, до 3—5 мкм, гибридные ПЗС с применением

HgCdTe, PbSnTe имеют в дальнем ИК диапазоне пороговую чувствительность,

приведенную к единичной фотоприемной площадке 1 см2, при азотных

температурах порядка 10-10-10-11 Вт/Гц1/2, если отношение сигнал/шум

равно 1. Глубокое охлаждение решетки твердого тела приводит к

значительному уменьшению тепловых шумов, являющихся принципиальным

органичением при повышении чувствительности электронных приборов,

особенно в СВЧ и ИК диапазонах. Шумовая температура охлажденных

полупроводниковых усилителей может достигать 5—20 К в широком диапазоне

частот, а шумовая температура смесителя на контакте полупроводник -

сверхпроводник на частотах ~1010 Гц составляет при гелиевых температурах

рекордно малую величину — около 13 К, гетеродинный приемник

лазерного излучения имеет при 77 К чувствительность около 10-20 Вт/Гц1/2

в ИК диапазоне.

Интенсивное развитие интегральной криоэлектроники тесно связано с

созданием криостатов с жидким и твердым хладоагентом и микрокриогенных

систем с замкнутым циклом, не требующих периодического пололнения жидким

или газообразным хладоагентом. Создание криостатов с охладителями типа

Макмагона—Джиффорда позволило надежно освоить диапазон на стыке

водородных и гелиевых температур, появились микрокриогенные системы

гелиевого уровня. Криостаты с дроссельными микроохладителями после

применения в них газовых смесей становятся конкурентоспособными по

сравнению с другими системами. Начинается внедрение гибридных электронных

охладителей на основе эффектов Пельтье, Эттингсгаузена. Существенной

особенностью этих охладителей является слабая зависимость относительного

термодинамического к. п. д. от холодопроизводительности, в то время как

соответствующий коэффициент газовых машинных охладителей резко снижается

при уменьшении холодопроизводительности. Таким образом, можно будет снять

ограничение с минимально достижимой холодопроизводительности, что, в свою

очередь, уменьшает размеры всей охлаждающей системы. Именно в области

криогенных систем малой холодопроизводительности электронное

криостатирование, в задачи которого входит создание криогенных

твердотельных электронных микроохладителей на различные уровни температур

вплоть до сверхнизких, будет, по-видимому, наиболее конкурентоспособным.

Интегральная криоэлектроника позволит в дальнейшем объединить в одном

твердотельном модуле электронную охлаждаемую схему с электронным

охладителем, что является способом создания полностью твердотельных

криоэлектронных интегральных схем. В такой необычной схеме охладительная

часть также может быть выполнена методами интегральной технологии и иметь

один и тот же источник питания. При этом предварительное охлаждение может

осуществляться не электронными методами, что важно для разработки

микроэлектронных систем с большой степенью интеграции, например антенных

фазированных решеток. Развитие интегральной криоэлектроники как новой

отрасли микроэлектронной техники непрерывно ставит перед исследователями

новые задачи:

— создание электронных приборов с принципиально новыми свойствами на

основе открытых физических низкотемпературных явлений путем использования

технологии интегральных полупроводниковых схем;

— изменение физических свойств структур за счет глубокого охлаждения

для получения принципиально нового прибора;

— создание новых конструктивных и технологических методов с целью

сочетания в одном электронном функциональном модуле свойств

криоэлектронного прибора и микроохладителя;

. комплексная микроминиатюризация охлаждаемых многофункциональных узлов

аппаратуры с одновременным улучшением ее электрических параметров.

Часть 3

Микроэлектроника и холод

Микроминиатюризация в области электронно-вычислительной техники —

важнейшее направление научнотехнического прогресса.

На основе полупроводниковых интегральных схем можно было бы создать

мощную ЭВМ размером всего со школьный ранец, если бы был предложен

эффективный способ отвода тепла от такого устройства. Но это оказалось

непосильной для современной техники задачей: устройство должно выделять

до киловатта энергии каждую секунду. Решение было найдено с помощью

криогеники в сочетании с отказом от полупроводников.

Четверть века назад, а точнее, в 1962 году, английский ученый Джозефсон

(в то время он был еще студентом) теоретически предсказал эффект,

названный позднее его именем. На основе эффекта Джозефсона было

сконструировано электронное устройство, так называемый «джозефсоновский

переход». Оно представляет собой два сверхпроводящих электрода,

разделенных тончайшим (от 10 до 50 А) слоем диэлектрика. Диэлектрик даже

при сверхнизких температурах электрический ток не пропускает. В данном же

случае благодаря сверхпроводящему состоянию электродов и в зависимости от

приложенных к переходу электрических и магнитных полей электрический ток

через изолятор проходит. Причем при температуре 4,2К такой прибор

выделяет в 10000 раз меньше тепла, чем обычный транзистор. Иными словами,

ЭВМ той же мощности, что и упомянутая выше, но построенная не на

полупроводниках, а на сверхпроводящих элементах, выделяла бы всего 0,1 Вт

в секунду! А каждый «джозефсоновский переход» может работать и как

детектор, и как усилитель, и как ячейка памяти, и как логический элемент.

Наиболее стабильны в работе «джозефсоновские переходы» с электродами из

ниобия.

Устройства сверхпроводящей электроники уже используются на практике.

Так, на их основе созданы сверхчувствительные измерители магнитных

потоков и полей, успешно применяемые в медицине (магнитокардиография и

магнитоэнцефалография).

Большое внимание наука уделяет сейчас разработки способов получения

сверхчистых металлов, анализа их чистоты и изучения их свойств. А надо

сказать, что свойства эти поистине удивительные. Например, титан, висмут,

вольфрам, хром, молибден, тантал, цирконий долго считались хрупкими. В

чистом же виде они оказались пластичными и прочными. И чем выше чистота

полученных образцов, тем больше вероятность обнаружения "маскируемых"

примесями подлинных свойств металлов.

В лабораториях Института проблем технологии микроэлектроники и особо

чистых материалов получены монокристаллы многих сверхчистых металлов —

меди и серебра, никеля и кобальта, висмута и свинца, индия, сурьмы,

самария. Их проба чистоты чрезвычайно высока — до 99,999999 процента!

Такая почти идеальная чистота удовлетворяет требованиям микроэлектроники,

где металлы находят все более широкое применение.

Жесткие требования микроэлектроники к чистоте используемых

металлических материалов связаны с тем, что сверхчистый металл ведет себя

почти как сверхпроводник, помехи электронам проводимости создают «чужие»

атомы. А это значит, что при отсутствии таких помех, т.е. при работе со

сверхчистыми металлами, не возникает (или, точнее, значительно слабее

проявляется) проблема отвода тепла. Кроме того, что очень важно для

электронно-вычислительной техники, непрерывно циркулирующий поток

информации в виде заряда, волны и пр. в схеме, выполненной из сверхчистых

металлов, не встретит препятствий, а это предохранит устройство от сбоев

и ошибок.

Получение сверхчистых металлов — тема особая, и мы не будем ее

касаться. Скажем только, что сохранить вещество в чистом виде не менее

сложно, чем получить. И здесь на помощь опять-таки приходит криогенная

техника: один из эффективных способов сохранения чистоты металлических

материалов — содержание их в условиях сверхнизких температур (в жидком

азоте, а еще лучше — в жидком гелии).

В Советском Союзе разработан метод определения чистоты сверхчистых

металлов (при содержании примесей менее 10-4 процентов), основанный на

использовании электромагнитных волн особого, типа — геликонов. Эти волны

затухают в ряде металлов пропорционально концентрации примесей.

Любопытно, что геликоны есть не что иное, как затухание электромагнитных

волн, испускаемых плазмой заряженных частиц, что наблюдается лишь в

вакууме. Иными словами, сверхчистые металлы проявляют свойства вакуума.

Такое же сходство свойств с вакуумом сверхчистые металлы проявили при

исследовании «пробега» в них свободных электронов. В сверхчистых образцах

индия, например, охлажденных до температур ниже температуры кипения

гелия, электроны проходили 8—10мм — как в вакууме! Более того, была

доказана возможность с помощью магнитного поля фокусировать и управлять

траекториями электронов проводимости внутри образца сверхчистого металла.

Важно отметить, что в сверхчистых металлах плотность потока электронов

проводимости составляет 1022 электронов в 1 см3, т. е. почти как в

вакууме и в сотни тысяч раз больше, чем в полупроводниках.

Отсюда был сделан естественный вывод: использование сверхчистых

металлов в конструкциях ЭВМ резко повысило бы эффективность

вычислительных и управляющих систем. По мнению директора Института

проблем технологии микроэлектроники и особо чистых материалов, члена-

корреспондента АН СССР Ч. В. Копецкого, развитие науки и техники в этом

направлении может привести к появлению новой отрасли — металлической

электроники, или металлотроники. Основным элементом электронных систем,

по его мнению, могут стать «триады» из двух сверхчистых металлических

монокристаллов, соединенных (или разделенных) микромостиком («длиной» до

100 мкм), изготовленным также из металлического монокристалла особой

чистоты. Через такой микромостик при близких к абсолютному нулю

температурах можно пропускать электроток огромной плотности — 109— 1010

А/см2 . И мостик при этом даже не нагревается. Это поистине

парадоксальное свойство сверхчистых металлов, ведь самый тугоплавкий

металл обычной технической чистоты испаряется при плотности тока 105 на

квадратный сантиметр.

Одним словом, металлотроника в содружестве с криогенной техникой являются

продвижением научно-технического прогресса.

Перспективы применения структур на основе контактов сверхпроводников с

полупроводниками в криогенной микроэлектронике

Проблема создания структур на основе контактов С—П, приборов и

многофункциональных устройств на этих структурах является комплексной.

Нужно пройти большой путь от разработки воспроизводимой технологии

получения простейших контактов и приборов, например полупроводникового

(как это ни странно звучит) криотрона с джозефсоновским вентилем,

сверхчувствительных детекторов дальнего ИК диапазона до криоэлектронных

приемных устройств и вычислительных систем, в которых необходимо будет

найти разумное сочетание различных рассматриваемых структур. Но в целом

этот путь полезный и даёт много нового микроэлектронике. Это можно

показать в виде условной схемы на рисунке № 1, в которой представлены не

только структуры и приборы, о которых выше упоминалось, но и возможные

перспективные приборы.[9] Применение рассмотренных структур на основе

контактов сверхпроводников с полупроводниками в криоэлектронике открывает

новые возможности для создания различных (функциональных приборов:

усилителей, детекторов, преобразователей, ПЗС с внутренним усилением,

приемников ИК диапазона, линий задержки, регистров сдвига. Сочетание на

одном полупроводниковом кристалле нескольких структур, выполненных в

одном технологическом цикле, например структур, имеющих параметрические и

детекторные элементы, в принципе позволяет поднять чувствительность

криоэлектронных приемников прямого усиления до уровня супергетеродинных.

Сочетание сверхпроводящих структур с полупроводниковым барьером, в

которых при проявлении эффекта Джозефсона частоты принимаемого сигнала

могут охватить практически весь ИК диапазон, с регистром сдвига на

структурах с зарядовой связью и малошумящими усилительными элементами

позволяет создать многоэлементные приемники с самосканированием,

работающие в дальнем и сверхдальнем ИК диапазонах. Возможно создание на

этой основе и многодиапазонных ПЗС ИК диапазона. При построении сложных

интегральных схем на СВЧ микрополосковые линии и резонаторы усилителей

могут быть выполнены непосредственно на той части поверхности

полупроводникового кристалла, в которой при температурах ТТс) и нелинейными криопараэлектриками, в

которых заложены многие новые функциональные возможности, заняли свое

место среди новых материалов и структур микроэлектроники. При этом могли

появиться приборы как бы с тройной интеграцией: интеграцией элементов,

интеграцией материалов и явлений и интеграцией функций в одной

твердотельной схеме с корпусом-криостатом.

Полезно обратить внимание на принципиальное различие между

энергетической щелью (запрещенной зоной) в полупроводнике и щелью в

сверхпроводнике. В полупроводнике минимумы энергии Е(р) определяются

кристаллической решеткой и наличие щели приводит при Т==0 К (при

отсутствии контакта со сверхпроводником), к нулевой проводимости. В

сверхпроводнике минимумы Е(р) определяются взаимодействием электронов

внутри электронной системы и наличие щели приводит к бесконечной

проводимости.

Заключение

Новые проблемы и пути их решения

Криоэлектронику часто относят к микроэлектронике, считая ее высшей

ступенью создания интегральных пленочных схем для ЭВМ. Это определение

весьма неполное и охватывает только одно из направлений

криоэлектроники—интегральную криотронику на тонкопленочных

сверхпроводниковых элементах со слабой связью. В целом же интегральная

криоэлектроника, базируясь на достижениях технологии современной

микроэлектроники, включает более широкий круг проблем, без решения

которых невозможно создать приборы, работающие при криогенных

температурах и пригодные для серийного производства и постоянной

эксплуатации. Дело в том, что криоэлектроника в отличие от

полупроводниковой микроэлектроники опирается на новые физические явления,

такие как: сверхпроводимость, эффекты Джозефсона, явления в узкозонных

полупроводниках, полуметаллах, параэлектриках и др., проявляющиеся только

при охлаждении и не реализованные ранее. При этом криоэлектронный

микроприбор или интегральная криоэлектронная схема может представлять

собой симбиоз охлаждаемой электронной схемы и охладителя (газового,

Страницы: 1, 2, 3, 4